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檢測系統(tǒng)
刻蝕系統(tǒng)
沉積系統(tǒng)
生長系統(tǒng)
清洗去膠系統(tǒng)
熱真空試驗系統(tǒng)
核心組件
Technical articles
全自動磁控濺射系統(tǒng)能夠精確控制薄膜的厚度和均勻性
ICP等離子刻蝕機能夠?qū)崿F(xiàn)高各向異性的刻蝕
TOF-SIMS在聚合物薄膜和涂層的光譜分析
全自動磁控濺射系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對濺射過程的精確控制
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