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清洗去膠系統
熱真空試驗系統
核心組件
Technical articles
全自動磁控濺射系統能夠精確控制薄膜的厚度和均勻性
ICP等離子刻蝕機能夠實現高各向異性的刻蝕
TOF-SIMS在聚合物薄膜和涂層的光譜分析
全自動磁控濺射系統能夠實現對濺射過程的精確控制
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