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檢測(cè)系統(tǒng)
刻蝕系統(tǒng)
沉積系統(tǒng)
生長(zhǎng)系統(tǒng)
清洗去膠系統(tǒng)
熱真空試驗(yàn)系統(tǒng)
核心組件
Technical articles
全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)能夠精確控制薄膜的厚度和均勻性
ICP等離子刻蝕機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)高各向異性的刻蝕
TOF-SIMS在聚合物薄膜和涂層的光譜分析
全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)濺射過(guò)程的精確控制
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