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SIMS二次離子質譜儀
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Kore SurfaceSeer I是一款高靈敏度、高質量范圍、高分辨率的SIMS二次離子質譜儀(TOF-SIMS),可以用于絕緣、導電表面的成像分析與化學成分分析。SurfaceSeer I是研究表面化學的分析利器,適用于研發(fā)和工業(yè)質量控制應用。
SIMS二次離子質譜儀主要通過離子源發(fā)射離子束濺射樣品表面進行分析。離子束作為一次離子源,經過一次離子光學系統(tǒng)的聚焦和傳輸,到達樣品表面。樣品表面經過濺射,產生二次離子,系統(tǒng)將產生的二次離子提取和聚焦,并將二次離子送入離子飛行系統(tǒng)。在離子飛行系統(tǒng)中,不同種類的二次離子由于質荷比不同,飛行速度也不同,在飛行系統(tǒng)分離,通過檢測這些離子進行相關分析。
靜態(tài)SIMS是一種非常靈敏的表面分析技術,能在只消耗樣品單層一小部分的情況下,獲得詳細的質譜圖。被分析的分子來自固體表面前幾層,這對于探討材料關鍵區(qū)域例如附著力或催化等性質至關重要。
SurfaceSeer I 使用與 SurfaceSeeer S 相同的 TOF-MS 技術,但配備了高亮度、高空間分辨率的 25kV 液態(tài)金屬離子槍(LMIG)作為主要離子源。LMIG 的探頭尺寸≤ 0.5µm,可實現(xiàn)高分析空間分辨率。全自動計算機控制,允許在質譜采集期間掃描離子槍,從而可以收集到化學圖像或圖譜。另外還提供了一個二次電子探測器(SED),用 于調諧初級電子束和 SED 圖像捕獲。
帶有12.7µm重復單元的銅格柵
SurfaceSeer I 儀器特點:
配備25KV液態(tài)金屬離子槍(LMIG)作為主要離子源,檢測能力更強,質量分辨率更高;
具備表面成像和深度剖析功能;
提供的SIMS材料譜庫包含上千種材料的質譜數(shù)據(jù),可識別未知的化合物和材料;
可同時分析所有元素及有機物,可消除有機物和元素干擾,使譜圖更清晰,檢測限更低,能更有效地分析材料樣品。
專用數(shù)據(jù)處理軟件允許分析數(shù)據(jù)和樣品的化學構成信息進行全面的交互提取,其所有儲存的數(shù)據(jù)都能用于溯源性分析。
表面分析靈敏度高達 1x109 atoms/cm2
SurfaceSeer I 應用領域:
表面涂層和處理
電子元件和半導體
電極與傳感器
潤滑劑
催化劑
粘合劑
薄膜等包裝材料
腐蝕研究
大學教學與科研